מבוא לטכנולוגיית תהליך ייצור COG חלק ראשון

טכנולוגיית ניקוי פלזמה מקוונת

ניקוי פלזמה של צג LCD

בתהליך הרכבה וייצור של מעגל משולב (COG) של צג LCD, יש להרכיב את המעגל המשולב (IC) על פין זכוכית ה-ITO, כך שהפין שעל זכוכית ה-ITO והפין שעל המעגל המשולב יוכלו להתחבר ולהוליך. עם הפיתוח המתמשך של טכנולוגיית חוטים עדינים, תהליך ה-COG מציב דרישות גבוהות יותר ויותר לניקיון פני זכוכית ה-ITO. לכן, לא ניתן להשאיר חומרים אורגניים או אנאורגניים על פני הזכוכית לפני חיבור המעגל המשולב, על מנת למנוע את השפעת המוליכות בין אלקטרודת זכוכית ה-ITO לבין מעגל המשולב (IC BUMP), ובעיות קורוזיה בהמשך.

בתהליך ניקוי הזכוכית הנוכחי של ITO, תהליך ייצור COG, כולם מנסים להשתמש במגוון חומרי ניקוי, כגון ניקוי באלכוהול וניקוי אולטרסאונד, כדי לנקות את הזכוכית. עם זאת, הכנסת חומרי ניקוי עלולה לגרום לבעיות קשורות אחרות, כגון שאריות חומרי ניקוי. לכן, חקירת שיטות ניקוי חדשות הפכה לכיוון של יצרני LCD-COG.